Queste pompe si differenziano dai compressori (macchine che innalzano la pressione di un aeriforme) in quanto questi ultimi lavorano a pressione costante mentre le pompe a pressione variabile decrescente.
E' possibile distinguere tre categorie di pompe a vuoto:
- a spostamento di parete, come le pompe rotative (dotate di un rotore a palette mobili) e le roots (trascinano il gas attraverso una coppia di lobi rotanti).
- molecolari o a trasferimento di quantità di moto, come le pompe a diffusione (basate sulla diffusione dei vapori di un olio a bassa tensione) e le pompe turbomolecolari (pompe assiali a trascinamento).
- a intrappolamento, come le pompe criogeniche (sfruttano il congelamento per ridurre il numero delle molecole libere), a getter (sfruttano gas chimicamente attivi che vengono pompati ad alte velocità) e ioniche.